中國電科旗下電科裝備已實現國產離子注入機28納米工藝制程全覆蓋

7月3日，中國電子科技集團有限公司(簡稱中國電科)官網刊文指出，中國電科連續突破光路、控制、軟件等關鍵模塊的核心技術，實現國產離子注入機28納米工藝制程全覆蓋重大科技成果，有力保障中國集成電路制造行業在成熟制程領域的產業安全。

研發人員正在調試離子注入機(圖片來自中國電科官網)

離子注入機是芯片制造中的關鍵裝備。在芯片制造過程中，需要摻入不同種類的元素按預定方式改變材料的電性能，這些元素以帶電離子的形式被加速至預定能量并注入至特定半導體材料中，離子注入機就是執行這一摻雜工藝的芯片制造設備。

當前，28納米是芯片應用領域中覆蓋面最廣的成熟制程。據介紹，電科裝備連續突破光路、控制、軟件等關鍵模塊的核心技術，形成中束流、大束流、高能及第三代半導體等全系列離子注入機產品格局，實現了28納米工藝制程全覆蓋，切實保障國產芯片生產制造。

據了解，作為國內最早從事離子注入設備研制及產業化的企業，電科裝備已具備從產品設計到量產應用的完整研制體系，產品涵蓋邏輯器件、存儲器件、功率器件、傳感器等工藝器件，百臺設備廣泛應用于國內各大集成電路先進產線，累計流片2000萬片，有力提升中國產業鏈供應鏈韌性和安全水平。

大束流離子注入機成功入選《推薦目錄(2022年版)》

此前于今年5月，電科裝備官網刊文指出，電科裝備北京爍科中科信公司大束流離子注入機作為高端裝備成功入選《中央企業科技創新成果推薦目錄(2022年版)》(以下簡稱《推薦目錄》)。本次推薦目錄共涉及核心電子元器件、關鍵零部件、分析測試儀器、基礎軟件、關鍵材料、先進工藝、高端裝備七個領域。

大束流離子注入機作為全系列離子注入機中的拳頭產品之一，北京爍科中科信以創新賦能其產業化進程，用技術迭代提升其產品性能，全面保障了設備在產線的運行狀態，展現了更高水平的產能，切實維護了集成電路領域供應鏈的安全。目前，低能大束流離子注入機8寸產線已實現了工藝全覆蓋及批量跑貨，累計跑貨量超500,000片，12寸產線28nm及以上工藝實現全覆蓋，應用于先進制程的高溫注入機已完成整機設計及組裝，現已實現在高溫600℃以上時，設備仍能均勻吸附晶圓，且能夠保障高效穩定傳輸。

1月即交付今年第3臺離子注入機

今年1月6日，中國電科官方頭條號發文稱，滿載設備的運輸車整裝待發，又一臺離子注入機設備駛向客戶現場，這是電科裝備今年交付的第三臺離子注入機。

中國電科稱，過去一年，電科裝備累計新簽設備數量創下歷史新高，同比增長近70%，在不同工藝、不同應用領域多點開花并獲得重復訂單。