解決“卡脖子”問題，國產(chǎn)光刻機項目用了他們的光源

從正面看去，一個比例被放大數(shù)十倍的立體玉龍躍然眼前，可當你伸手去觸摸時，卻只碰到了空氣（見下圖），2月20日，在位于新鄉(xiāng)市紅旗區(qū)新東產(chǎn)業(yè)集聚區(qū)的百合光電有限公司（以下簡稱百合光電），記者感受到了裸眼3D懸浮成像技術(shù)這一“黑科技”。

實現(xiàn)了微米級別光刻光源系統(tǒng)的國產(chǎn)化量產(chǎn)

除了上述裸眼3D懸浮成像技術(shù)，在百合光電，太陽光模擬系統(tǒng)，讓人即使身處暗室也能盡情享受“日光浴”；深紫外輻照模擬設(shè)備，可以模擬太空光照環(huán)境，被用于建造衛(wèi)星的材料篩選環(huán)節(jié)……

“這些只是我們研發(fā)路上的‘副產(chǎn)品’，今年國內(nèi)的一家新能源汽車品牌參加車展時，也會用到這項技術(shù)。”百合光電總經(jīng)理、英國南威爾士大學光電工程學博士張博說，在研發(fā)光刻光源的過程中，該企業(yè)掌握了高精度的光學元件加工技術(shù)，實現(xiàn)了微米級別光刻光源系統(tǒng)的國產(chǎn)化量產(chǎn)，產(chǎn)品品質(zhì)達到了國際領(lǐng)先水平，“捎帶”著生產(chǎn)出一系列“黑科技”產(chǎn)品。

“無論是懸浮感、對比度、分辨率，還是生態(tài)環(huán)保、使用壽命、綜合成本，我們的產(chǎn)品都經(jīng)得起市場的競爭和考驗。”張博說。

研發(fā)生產(chǎn)過程中，深深感受到了被“卡脖子”的痛苦

2016年，張博帶著一支6人科研團隊，來到紅旗區(qū)新東產(chǎn)業(yè)集聚區(qū)，注冊成立公司，開始了光刻光源的研發(fā)。“研發(fā)生產(chǎn)過程中，深深感受到了被‘卡脖子’的痛苦，比如很多生產(chǎn)設(shè)備的部件，反光碗來自日本，還有的來自美國，那時我們無法完全實現(xiàn)‘中國造’。”

光刻、曝光設(shè)備是國家的戰(zhàn)略裝備，技術(shù)門檻高，投資大，周期長，而光學就是其中的核心難點之一。我國該領(lǐng)域起步晚，經(jīng)驗少，市場化的產(chǎn)品更是差距巨大。目前，雖然我國90納米的設(shè)備已經(jīng)驗收，正在攻關(guān)28納米的光刻機，但在市場上，就算是微米和亞微米級別，國外品牌依然是主流。

“為助力半導(dǎo)體裝備產(chǎn)業(yè)實現(xiàn)國產(chǎn)化，不再被光刻光源‘卡脖子’，我們每年拿出企業(yè)年產(chǎn)值的20%~25%作為科研經(jīng)費，與各大高校建立戰(zhàn)略合作，從市場需求出發(fā)，定位技術(shù)攻關(guān)方向，聯(lián)合培養(yǎng)人才，實現(xiàn)項目產(chǎn)業(yè)化。”張博說。

近幾年，百合光電開發(fā)了系列UV-LED光源系列產(chǎn)品，繞過了國外在超高壓汞燈、恒流源等領(lǐng)域建立的產(chǎn)業(yè)壁壘，在節(jié)能、環(huán)保、降低成本、提高品質(zhì)等方面全面超越傳統(tǒng)汞燈，符合國家碳達峰、碳中和的遠景目標，實現(xiàn)了產(chǎn)品指標國際領(lǐng)先。在集成電路、液晶、線路板、LED等行業(yè)，百合光電已經(jīng)成功開發(fā)并產(chǎn)業(yè)化了30余款系列產(chǎn)品，實現(xiàn)整機國產(chǎn)化。

正式成為中芯國際光學元器件的戰(zhàn)略供應(yīng)商

“酒香不怕巷子深”。中科院牽頭的國產(chǎn)光刻機重大項目，采用的是百合光電提供的光源模組；作為國產(chǎn)光刻機民企“龍頭”的大族激光，選用了百合光電生產(chǎn)的整套曝光系統(tǒng)；去年6月起，百合光電向半導(dǎo)體龍頭企業(yè)中芯國際保質(zhì)保量供應(yīng)了光學零部件，前幾天正式成為中芯國際光學元器件的戰(zhàn)略供應(yīng)商……

張博介紹，近5年，百合光電以年均增收20%的速度健康發(fā)展，未來兩三年，預(yù)計年產(chǎn)值、利潤增幅均將超過100%。“我們將繼續(xù)探索和開創(chuàng)更多光的可能性，大力投入健康、環(huán)境、綠色、娛樂等產(chǎn)業(yè)，研發(fā)出更多更好的新產(chǎn)品。”