氣體污染原因揭曉 臺積電晶圓18廠影響如何？

臺積電位于南科的晶圓18廠上個月底驚傳遭到氣體污染，外界一度憂心是否會影響蘋果iPhone年度新機的出貨進度。不過，目前看來，氣體污染事件的影響極其輕微，主要是因為這個化學反應的關系。

臺積電位于南科的晶圓18廠上周傳出疑因氧氣供應受到污染，導致部分產線停擺。由于晶圓18廠是臺積電最先進的5納米制程生產基地，大客戶正是美商蘋果，而8月又將進入iPhone處理器A15的生產旺季，引起市場高度關注后續影響。

當時，臺積電就針對氣體污染事件表示，已實時調度其他氣體供應。為確保生產質量無虞，正進行嚴密后續作業；這事件目前已知對營運并無造成顯著影響，后續將持續追蹤。目前看來，該事件確實影響極其輕微。

據了解，當時晶圓18廠被污染，主要是因為半導體制程必備的氧氣，被混入了氬氣（Ar2）。氬氣是一種無色無味的惰性氣體，一般無害，但在高濃度下，會使人窒息。

這次晶圓18廠的氧氣雖然遭到氬氣污染，但因為氬氣并不參與化學反應，所以對生產過程沒有影響，工廠端只需要清洗儲存槽即可。

法人認為，這起氣體污染事件，將不影響臺積電8月營收表現，也不會干擾蘋果iPhone新機用的處理器A15生產。

氬氣常用于半導體、太陽能、顯示器和LED制造商，最常見的用途是為大型硅晶體的生長或大型整塊硅晶鑄塊的生產，提供一種惰性環境；晶體或晶塊經切割后制成太陽能和半導體行業所使用的硅片。

而太陽能芯片生產是氬氣消耗量最大的應用。氬氣還可用于吹掃電子工藝設備，以免較高溫度條件下發生有害化學反應。