增芯12英寸先進智能傳感器及特色工藝晶圓制造量產線項目搬入首臺設備

據增芯科技官微消息，12月28日，廣州增芯科技有限公司舉行首臺生產設備搬入儀式。

據悉，本次搬入設備是由中微半導體設備（上海）有限公司制造的Primo D-RIE?刻蝕設備反應臺，也是增芯12英寸智能傳感器及特色工藝晶圓生產線項目搬入的首臺生產設備，運用了中微具有自主知識產權的創(chuàng)新技術，是國際主流芯片生產線上必不可少的設備。該設備的搬入，是繼項目“920封頂”以來的重要交付，標志著增芯項目一期工程土建和機電安裝已經完工，項目由建設期正式轉入運營前的生產準備階段。

此前消息顯示，該項目占地面積達370畝，分兩期建設。根據規(guī)劃，增芯項目將建設月加工能力達2萬片的12英寸MEMS制造生產線，預計2024年6月通線。