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7nm芯片,不用EUV光刻機(jī)一樣造,這就是我們的能力和底氣?

2023-11-03 來源:科技專家
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關(guān)鍵詞: ASML 芯片 華為

不知道從什么時(shí)候起,很多人認(rèn)為制造7nm芯片,必須要有EUV光刻機(jī),而一旦得不到EUV光刻機(jī),最多就是10nm,進(jìn)入不了7nm。


但不曾想,前段時(shí)間遙遙領(lǐng)先品牌,搞出了一顆等效于7nm的芯片,其晶體管密度達(dá)到了98MTr/mm2,也就是9800萬個(gè)每平方毫米,等效于臺積電、三星的7nm工藝。



一時(shí)之間,網(wǎng)友們都沸騰了,不僅國內(nèi)的網(wǎng)友沸騰了,連海外媒體也沸騰了,天天拆解這款手機(jī),分析這顆芯片,最后得出的結(jié)論是,沒有EUV光刻機(jī)的痕跡。


這就證明了,它不是EUV光刻機(jī)的產(chǎn)物,而看到這個(gè)結(jié)果,估計(jì)ASML也是松了口氣,因?yàn)橐坏┯蠩UV光刻機(jī)的痕跡,只怕ASML跳進(jìn)黃河也洗不清了,因?yàn)槿蛑挥兴軌蛏a(chǎn),而美國不準(zhǔn)他賣到中國大陸來的,他怎么敢背這個(gè)鍋。



然后,大家就又猜測,那么沒有EUV光刻機(jī),7nm芯片又是怎么來的呢?


事實(shí)上,通過浸潤式光刻機(jī),經(jīng)過多次曝光,完全可以實(shí)現(xiàn)7nm工藝。而多重曝光方式,甚至有LELE、LFLE、SADP等多種方式。


只不過與采用EUV光刻機(jī)相比,多重曝光方式意味著工藝更復(fù)雜,良率會(huì)降低,效率會(huì)降低,成本會(huì)提高而已,當(dāng)沒有辦法時(shí),那也不得不用。



之前臺積電的第一代N7工藝,就是使用的浸潤式光刻機(jī)生產(chǎn)的,比如蘋果的A12、華為海思980,均是浸潤式光刻機(jī)下的7nm產(chǎn)物。臺積電直到第二代N7工藝,才導(dǎo)入EUV光刻機(jī),在當(dāng)初的時(shí)候,臺積電還會(huì)強(qiáng)調(diào),這是EUV 7nm工藝,與非EUV工藝進(jìn)行區(qū)分。


而使用浸潤式光刻機(jī),能夠制造出7nm芯片,也是我們的底氣,因?yàn)榻櫴焦饪虣C(jī),目前國內(nèi)并不少,這么多年購買下來,產(chǎn)能非常大,毫不擔(dān)心封禁。


何況按照媒體的說法,目前國內(nèi)自研的浸潤式光刻機(jī),也快要來了,所以這就是我們的底氣和能力。



而近日,浸潤式光刻機(jī)之父林本堅(jiān),前臺積電研發(fā)副總,更是有不同的觀點(diǎn),他覺得中國大陸甚至有可能利用現(xiàn)有的設(shè)備,進(jìn)行改進(jìn),制造出5nm的芯片出來,不一定非得要EUV光刻機(jī)才行。


當(dāng)然會(huì)不會(huì)是這樣,就讓我們拭目以待了,當(dāng)謎底真正掀開的那一刻,估計(jì)我們就全部做好了準(zhǔn)備,畢竟能夠制造5nm芯片,意味著全球98%的芯片能夠制造了,那還怕啥?



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