格科半導(dǎo)體成功引入ASML先進(jìn)ArF光刻機(jī)

3月27日，據(jù)格科微官微披露，3月24日，格科半導(dǎo)體再次迎來了建廠重要標(biāo)志性時(shí)刻，整套生產(chǎn)線中的最關(guān)鍵設(shè)備——ASML先進(jìn)ArF光刻機(jī)成功搬入。

目前，格科微“12英寸CIS集成電路特色工藝研發(fā)與產(chǎn)業(yè)化項(xiàng)目”推進(jìn)迅速。廠房和潔凈車間建設(shè)已經(jīng)基本完成，并于2022年2月16日開始主設(shè)備的搬入安裝。

2022年3月24日上午10:18，在嚴(yán)格遵守防疫政策并做好疫情防控措施的情況下，格科微順利舉辦ASML先進(jìn)ArF光刻機(jī)搬入儀式。格科半導(dǎo)體SVP李朝勇、各部門總監(jiān)、光刻團(tuán)隊(duì)及廠務(wù)團(tuán)隊(duì)出席儀式，共同見證了公司這一里程碑式的重要時(shí)刻。